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單道掃描光譜儀的操作步驟：
1、打開計算機，雙擊“WLY—1”
2、分析方法的編制及樣品分析的前期準備。
[分析控制]→方法文件生成或方法調出（輸入文件名，擴展名是.mtd）→方法參數（不掃描參考線）→分析譜線（輸入元素符號，選擇所需波長，點擊“設置分析線”，輸入標準系列濃度值，負高壓值視具體情況而定，注意不要超過750V，按“確定”）→方法文件存盤。
3、ICP點火步驟：
（1）打開通風、水源、總電源，調節燈絲旋鈕，選至最大（預熱3分鐘）；
（2）打開高壓電源開關；
（3）開載氣，調壓力表至0.05，排空氣約3分鐘；
（4）開冷卻氣，調節流量計為10～12L/min，輔助氣0.5～0.8L/min；
（5）點火：點火前要關載氣，“功率”調節在1或2檔，點火后調至3檔，同時打開載氣閥，調壓力表值至0.06左右，必要時調節火焰的位置。
4、[儀器準備]→定位系統，在“設置”欄改負高壓為200V，掃主光零。
5、[分析控制]→方法調出（調出生成的方法文件），譜圖分析（選擇譜線，選取標準系列中最高濃度的一份進行預標準化既“掃高標”，按“掃描”鍵，看譜圖，是否要改負高壓值，是否要扣背景、定峰位，再掃描。）
6、[分析控制]→標準曲線→重復次數（2～3次）→測量（掃高標以后用蒸餾水洗管2min，再由低濃度到高濃度測量標準系列）。
7、[結果顯示]→[結果分析]選濃度值→顯示曲線（看標準曲線），[返回]，[返回]，再選元素，（在分析控制欄點擊“文件存盤”）。
8、[樣品分析]選“定量分析”→重復次數（2—3次）→樣品測量，輸入樣品份數，測定按“取消”鍵。→結果顯示，選擇元素，看濃度值。（文件存盤）
9、熄火前，用10%～12%HCl溶液，噴10～12分鐘，再用蒸餾水沖5分鐘。
10、關機：高壓關。功率調節旋鈕至“0”，燈絲開關（關）、關載氣旋鈕，關 氣瓶（工作氣、載氣），關冷卻水。