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 電感耦合等離子體發射光譜儀是指：高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體完全電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素特有的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。

    電感耦合等離子體發射光譜儀光源的“點燃”，需具備持續穩定的高純氬氣流，炬管、感應圈、高頻發生器，冷卻系統等條件。樣品氣溶膠被引入等離子體源后，在6,000K～10,000K的高溫下，發生去溶劑、蒸發、離解、激發、電離、發射譜線。根據光路采光方向，可分為水平觀察ICP源和垂直觀察ICP源；雙向觀察ICP光源可實現垂直/水平雙向觀察。實際應用中宜根據樣品基質、待測元素、波長、靈敏度等因素選擇合適的觀察方式。