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因此為了保證ICP光譜儀的正常運行并結合人的生理特點，建議把環境溫度的最佳范圍設置在(21~26)°C，環境溫度2h內變化應該小于±1°C。
濕度，表示大氣干燥程度的物理量。在一定的溫度下在一定體積的空氣里含有的水汽越少，則對空氣越干燥;水汽越多，則空氣越潮濕�？諝獾母蓾癯潭确Q為“濕度”。
在此意義下，常用絕對濕度、相對濕度、比較濕度、混合比、飽和差以及露點等物理量來表示;這里討論的是相對濕度。在GJB150.1A-2009中對實驗室相對濕度的規定為20%~80%;而ICP光譜儀的工作房間要求室內濕度應小于70%RH。
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如果室內濕度過大，ICP光譜分析儀中的光學元件、光電元件、電子元件等受到潮濕后，易發生銹蝕、霉變等現象導致儀器接觸不良、性能下降，甚至報廢。潮濕的環境還容易使儀器的絕緣性能變差，產生不安全的因素。例如在ICP光譜分析儀光學系統里光柵因濕度過大容易受潮發毛燒壞出現電容打火、高頻發生器使等離子體不容易點燃等現象，嚴重時還會發生高壓電源和高壓電路放電擊毀元件導致高頻發生器損害，如功率管被擊穿，輸出電路阻抗匹配、網絡中的可變電容放電等。
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濕度太大有時也會對ICP光譜分析儀的傳動部分容易生銹而卡死，例如蠕動泵和狹縫彈簧因生銹傳動較差;光路系統易產生霧氣，對ICP光譜分析儀的光譜透光率影響較大;上述問題直接導致數據精密度變差。如果濕度過低會出現樣品易揮發和易產生靜電干擾現象(導致室內灰塵過多)導致電路板損害;嚴重時還會對操作者身體健康帶來危險，例如口干舌燥、眼干鼻塞和咽喉腫痛，嚴重者還會患上各類呼吸道疾病。建議置放ICP光譜分析儀的光譜室濕度最低不要低于45%RH，把濕度控制在(45~70)%為最佳范圍。
另外還要特別注意：
首先對氣候比較濕潤地區的用戶，必須配置大于50L的除濕機一臺，不然ICP光譜分析儀由于受潮難于正常工作。例如在梅雨季節ICP光譜分析儀發生故障的頻次比其他季節要高，原因就是空氣中的濕度高造成的。
其次房間地面應該采用防潮處理，工作房間不應該選擇樓底，二樓比較合適，平時地面不應該用濕拖把清掃地面，最好用吸塵器或半干拖布來處理;如果不常用，每天必須通電一次，通過部分電量損失發熱出去電子元件上的水分，梅雨季節更要經常開機，利用內部散發的熱量來除潮;電器元件受潮后會降低絕緣性能，可用熱吹風吹干，禁止貿然使用，否則會擊穿電器元件發生短路造成ICP光譜分析儀電路系統被燒毀;對于比較干燥的地區，可以根據室內濕度波動酌情處理，如果常年大部分時間濕度都保持在(55±10)%RH波動，可不配置除濕機。
