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　　ICP光譜儀氣體控制系統主要有凈化裝置和氣體流量控制裝置，有的還有制冷裝置。

　　系統是否穩定正常的運行將關系到儀器測定數據的重現性和再現性，嚴重時影響儀器的使用壽命，因此該系統維護保養是至關重要的。對于凈化裝置檢查操作者要觀察干燥劑是否變色(檢查周期為1個月~2個月)，如果出現干燥劑變色，必須小心地將干燥管拆卸下來在120°C烘箱內烘干(8~12)h，干燥劑顏色回復原色即可安裝使用;如果沒有恢復原色，說明干燥劑失效，建議更換干燥劑;特別注意是，有的儀器干燥管安裝在隱蔽地方，操作不宜觀察和操作，對于這種ICP光譜儀，操作者應該請儀器制造廠家人員來操作。

　　對于氣體流量控制裝置要定期(一般半年)檢查塑膠管路是否老化泄漏，管路接頭是否漏氣，氣體流量計和氣壓指針是否正常;如果聽到管路泄氣的聲音，必須檢測塑膠管子和各個接口，檢查漏點的方法是：用洗滌劑水滴加載塑膠管和各個接頭上，看是否產生大氣泡來確定漏點。漏點確定后，根據漏點位置決定更換塑膠管或者給管路接頭纏生料帶來解決漏點問題;在檢查氣體管道時，還要注意氣體管道接入進樣系統時，各個載氣管道連接塑膠管長短要適應，管子太長容易形成彎曲影響氣體流量穩定，氣體形成脈動影響數據;對于制冷裝置應該經常清洗過濾網積灰，和定期更換水冷卻，保證制冷劑正常運行，以上工作可由操作者完成，除此之外，氣體流量計、氣壓表和電磁閥也應該檢測，如果出現故障應該由本單位專業維護人員及時更換。