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電感耦合等離子體光譜儀是高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。

    電感耦合等離子體光譜儀工作的基本條件：

①rf系統能夠輸出持續、穩定、合適的能量到工作線圈。

②炬管安裝良好且通有純凈、流量適宜的氬氣。

③點火裝置向氣體中釋放適當的電荷。

④如果其中某個條件沒有滿足則儀器不能正常點火。

另外，電感耦合等離子體光譜儀的功率放大部分的核心部件為功率它是一個大功率的真空電子管，內部有一細長的燈絲，當燈絲通電而RF系統未工作時，電流就會讓燈絲發熱并發射熱電子。